发布时间：2022-06-06 07:00:10 文章作者：知网小编 www.bear18.com
半导体量测检测，主要包含三大方向（Metrology4，Defect inspection3 & Review1），八种分类（4+3+1），简要介绍如下： 膜厚测量THK（Thickness），光学方法量测或半透明薄膜。
半导体材料是一类具有半导体性能、可用来制作半导体器件和集成电的电子材料，其电导率在10（U-3）～10（U-9）欧姆/厘米范围内。 随着社会的进步以及科学技术的发展，对于半导体材料的界定会越来越精确。
新型材料的半导体性能研究 提要: 在上世纪50 年代,随着锗、硅 质料 作为第一代半导体的出现,以集成电路为 焦点 的微电子工业开始逐渐发展起来,此类 质料 被广泛应用于集成电路中。 此后的几十年时间里,电子信息产业发展壮大。
